厚さ測定機（レーザセンサ／エアーセンサ）
特 徴
- 2種類の厚みセンサを搭載 エアーセンサ、レーザセンサ
- 非接触測定によりワークを傷付けません
厚さ範囲 エアーセンサ φ0.2㎜、レーザセンサ φ60μm
厚さ限度 エアーセンサ 10㎜、レーザセンサ 2.5㎜ - 厚み測定結果の分析が可能
- ウェハ厚み／反り測定可能
- オリフラ合わせユニットを搭載（1スキャンで実行）
製品情報
- 自動ねじ締め・ねじ外し装置
- 暗電流測定機
- チップ外観検査装置
- モジュール組立機
- 厚さ測定機（レーザセンサ／エアーセンサ）
- ランプアニール装置（高速熱処理装置）
- 超音波メタルボンディング装置（セミオート）
- スピンコータ
- パワーモジュール信頼性評価試験装置
- レーザースクライバ
- セミオートプローバ
- 各種ウェハ移載機 （ロボットアーム利用）
- ミクロ/マクロ検査装置
- レーザマーキング装置
- レーザートリミング装置
