パワーモジュール信頼性評価試験装置
特 徴
- ワークサイズ： 最大200mm×200mm
- 多品種ワークに対応（アタッチメント交換により）
- データロガー機能及びホストＰＣへのデーター送信機能
- 信頼性評価試験対象：
- ・LCR(CIES/RG)試験
- ・絶縁耐圧試験 (10nA測定用ピコアンメータ搭載)
- ・絶縁微小VI試験 (10nA測定用ピコアンメータ搭載)
- ・微小VI試験 (10nA測定用ピコアンメータ搭載)
- ・ICES印加連続試験(常温/高温)
- ・IGES試験 （10nA測定用ピコアンメータ搭載)
- ・サーミスタ試験(絶縁試験)
- ・その他
製品情報
- 自動ねじ締め・ねじ外し装置
- 暗電流測定機
- チップ外観検査装置
- モジュール組立機
- 厚さ測定機（レーザセンサ／エアーセンサ）
- ランプアニール装置（高速熱処理装置）
- 超音波メタルボンディング装置（セミオート）
- スピンコータ
- パワーモジュール信頼性評価試験装置
- レーザースクライバ
- セミオートプローバ
- 各種ウェハ移載機 （ロボットアーム利用）
- ミクロ/マクロ検査装置
- レーザマーキング装置
- レーザートリミング装置
