チップ外観検査装置
特 徴
- カメラ２軸を採用してそれぞれ異なる検査を行います
カメラ１:素子面のキズ、ゴミ、ワイヤー形状及び断線
カメラ２:チップ位置ズレ、サイズ、スルーホール穴詰まり - マガジンtoマガジンで自動運転
- 供給・排出２マガジン仕様
- 不良品は欠陥カテゴリー別に分類
例:不良１＝キズ、不良２＝スルーホール穴詰まりなど
製品情報
- 自動ねじ締め・ねじ外し装置
- 暗電流測定機
- チップ外観検査装置
- モジュール組立機
- 厚さ測定機（レーザセンサ／エアーセンサ）
- ランプアニール装置（高速熱処理装置）
- 超音波メタルボンディング装置（セミオート）
- スピンコータ
- パワーモジュール信頼性評価試験装置
- レーザースクライバ
- セミオートプローバ
- 各種ウェハ移載機 （ロボットアーム利用）
- ミクロ/マクロ検査装置
- レーザマーキング装置
- レーザートリミング装置
