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スピンコータ

特 徴
  1. 2インチ~6インチウェハ用レジスト塗布
  2. 膜厚 0.8μm~1μm(参考値)
  3. スピン回転数 50rpm~6000rpm(任意設定)
  4. 回転式ベーク炉 50℃~200℃±1%
  5. 2トラック構成での並列処理
  6. ダブルアーム搬送ロボット搭載(2機搭載)
  7. 処理能力 約80枚/h
  8. その他 カスタマイズ対応可能

製品情報