モジュール組立機
特 徴
- 自動ネジ締め機構によりネジ供給から締め付けを行います。
- ＸＹステージを用いたディスペンスにて、平面上多様なディスペンスが可能
- 接着剤塗布状況確認カメラ搭載(画像認識)
- 接着時の押付け用加圧機構(トルク制御)
- ホットプレート(接着剤硬化用)
- クールプレート(チラー)
- クリーナーノズル(集塵機付き)
- ワーク投入口・ネジ投入口・取出し口ライトカーテン装備
製品情報
- 自動ねじ締め・ねじ外し装置
- 暗電流測定機
- チップ外観検査装置
- モジュール組立機
- 厚さ測定機（レーザセンサ／エアーセンサ）
- ランプアニール装置（高速熱処理装置）
- 超音波メタルボンディング装置（セミオート）
- スピンコータ
- パワーモジュール信頼性評価試験装置
- レーザースクライバ
- セミオートプローバ
- 各種ウェハ移載機 （ロボットアーム利用）
- ミクロ/マクロ検査装置
- レーザマーキング装置
- レーザートリミング装置
